Hệ thống đo nét tự động tiêu biểu trong thân máy ảnh Canon EOS 5D Mark III là một bước đột phá mới. Với 61 điểm, trong đó có 41 điểm đo nét hình chữ thập, thật là dễ dàng trong việc bắt nét và theo dõi chụp thể, dù đang chuyển động với tốc độ cao.
Hệ thống này hỗ trợ đo nét đa vùng giúp tăng cường khả năng dõi theo chủ thể, bao gồm 5 điểm đo nét chữ thập kép ở trung tâm (f/2.8 đường chéo), 21 điểm lấy nét chữ thập ở trung tâm (f/5.6 ngang và dọc) và 20 điểm lấy nét biên chữ thập (f/4 ngang) cùng với khả năng bắt nét siêu nhạy cho dù điều kiện sáng yếu (EV-2 cho điểm lấy nétở giữa với ống kính có độ mở f/2.8).
Công nghệ tiên tiến áp dụng trong thân máy EOS 5D Mark III tăng cường độ chính xác cho cả những ống kính có độ mở f/4.0 và f/5.6